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新聞詳情
電商MRO供應(yīng)鏈德國optrisc歐普士單體紅外測溫儀CSmicro*小的傳感頭可實現(xiàn)光刻中的準確、高效的溫度監(jiān)測
日期：2025-05-10 12:34
瀏覽次數(shù)：26
摘要：*小的傳感頭可實現(xiàn)光刻中的準確、高效的溫度監(jiān)測
為了避免干擾敏感的制造過程，必須以非直接接觸的方式測量晶圓的表面溫度。保持均勻的溫度分布對于實現(xiàn)光刻膠的均勻?qū)雍穸戎陵P(guān)重要，并且必須直接在物體上測量。為此，使用具有長波光譜范圍（8 μm -14 μm）的高溫計?？紤]到通常狹窄的空間條件，傳感器必須盡可能緊湊，以確?？梢哉_定位，*好垂直于晶圓表面。
CSmicro 是*緊湊的紅外傳感器系列，具有*小的傳感器頭，是此應(yīng)用的理想選擇。CSmicro 系列由 Optris 制造，因其堅固的設(shè)計和高精度而脫穎而出。它具有微型傳感器頭，可以輕...
*小的傳感頭可實現(xiàn)光刻中的準確、高效的溫度監(jiān)測
為了避免干擾敏感的制造過程，必須以非直接接觸的方式測量晶圓的表面溫度。保持均勻的溫度分布對于實現(xiàn)光刻膠的均勻?qū)雍穸戎陵P(guān)重要，并且必須直接在物體上測量。為此，使用具有長波光譜范圍（8 μm -14 μm）的高溫計?？紤]到通常狹窄的空間條件，傳感器必須盡可能緊湊，以確保可以正確定位，*好垂直于晶圓表面。
CSmicro 是*緊湊的紅外傳感器系列，具有*小的傳感器頭，是此應(yīng)用的理想選擇。CSmicro 系列由 Optris 制造，因其堅固的設(shè)計和高精度而脫穎而出。它具有微型傳感器頭，可以輕松集成到狹窄空間中，非常適合半導(dǎo)體制造環(huán)境。CSmicro 傳感器能夠測量從 -40 °C 到 1030 °C 的溫度，為制造過程的各個階段提供靈活性。
此外，CSmicro 傳感器具有快速響應(yīng)時間，可確保實時溫度監(jiān)控和控制。這種快速反饋對于保持光刻所需的嚴格溫度公差至關(guān)重要。溫度信號通過模擬信號傳輸?shù)?PLC，從而可以無縫集成到現(xiàn)有的過程控制系統(tǒng)中。CSmicro 的先進光學(xué)元件和高質(zhì)量校準可確保準確可靠的測量，有助于提高半導(dǎo)體制造中的工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
SAKAGUCHI坂口電熱、AND艾安德、 NIPPON MUKI無機、NITTO KOHKI日東工器、CCS晰寫速、伊藤制造所，二宮電線
CKD喜開理 ，sigma西格瑪，DAICO大浩研熱、今尾IMAO，NBK 鍋屋，kyowa共和，TACO山武，F(xiàn)INTECH， SANKO三高
FREEBEAR福力百亞、MITUTOYO三豐，SUIDEN瑞電、SUGIYAMA杉山電機 ，IMAO今尾、ONOSOKKI小野、REVOX萊寶克斯
EYELA東京理化、SIBATA柴田科學(xué)、TOHNICHI東日、千代田CHIYODA、KOYO, SEN日森、
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關(guān)西涂料(ALESCO)、歐菲科技(0-film)、泰晶科技(TKD)、中芯國際(SMIC),京東方(BOE),華星光電(CSOT),天馬(TIANMA),柔宇(ROYOLE)
豐田(TOYOTA)，SUZUKI(鈴木)，比亞迪(BYD),大疆(DI)，艾華集團(AISHI)，駿馬精密(ZAMA)三一重工(SANY),中聯(lián)重科(ZOOMLION)
住友集團（sumitomo），華為（Huawei）徐工集團，大長江集團，揚力集團，太陽誘電，華天科技，大冶摩托，正泰集團，
電商集團在消費者當中享有較高的地位，公司與多家零售商和代理商建立了長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。歡迎咨詢
深圳電商商業(yè)股份有限公司會恪守“誠信、品質(zhì)、快速、貼心”的服務(wù)宗旨，不斷提升專業(yè)的技術(shù)服務(wù)水平，與客戶及供應(yīng)商實現(xiàn)共同發(fā)展
通過減少中間環(huán)節(jié)，并提供便利的配送服務(wù)，將實惠和安心送到每一個客戶的手中。
為了避免干擾敏感的制造過程，必須以非直接接觸的方式測量晶圓的表面溫度。保持均勻的溫度分布對于實現(xiàn)光刻膠的均勻?qū)雍穸戎陵P(guān)重要，并且必須直接在物體上測量。為此，使用具有長波光譜范圍（8 μm -14 μm）的高溫計?？紤]到通常狹窄的空間條件，傳感器必須盡可能緊湊，以確保可以正確定位，*好垂直于晶圓表面。
CSmicro 是*緊湊的紅外傳感器系列，具有*小的傳感器頭，是此應(yīng)用的理想選擇。CSmicro 系列由 Optris 制造，因其堅固的設(shè)計和高精度而脫穎而出。它具有微型傳感器頭，可以輕松集成到狹窄空間中，非常適合半導(dǎo)體制造環(huán)境。CSmicro 傳感器能夠測量從 -40 °C 到 1030 °C 的溫度，為制造過程的各個階段提供靈活性。
此外，CSmicro 傳感器具有快速響應(yīng)時間，可確保實時溫度監(jiān)控和控制。這種快速反饋對于保持光刻所需的嚴格溫度公差至關(guān)重要。溫度信號通過模擬信號傳輸?shù)?PLC，從而可以無縫集成到現(xiàn)有的過程控制系統(tǒng)中。CSmicro 的先進光學(xué)元件和高質(zhì)量校準可確保準確可靠的測量，有助于提高半導(dǎo)體制造中的工藝穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
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深圳電商商業(yè)股份有限公司
2025/4/22
